產品分類:雷射設備 雷射加工晶錠分片機 GLS-200G 降低成本的晶圓切割和減薄技術通過每個過程之間的全自動傳輸:雷射加工、晶圓分離、晶碇分離後的表面粗、細研磨,加工時間大大縮短,不再需要研磨(Lapping)工藝,產量大幅提升 50%。
產品分類:拋光設備 拋光機 GSP-610PR 針對大尺寸藍寶石(Sapphire)晶片表面薄化加工,提供全自動雙軸拋光加工設備,以load on load的方式進行全自動的拋光製程,速度最快、產量最多,並且同時適用多種製程的拋光加工設備.操作簡單,全程由PLC製程 控制,精度高、速度快、耗材成本低,人事成本亦可大幅下降
產品分類:研磨設備 水平式精密研磨機 GHG-260PCD 專屬晶圓減薄加工研磨設備,具備高精密度與快速減薄能力.晶圓尺寸適用性廣泛,適用2吋及4吋製程,並可依照製程需求變化研磨參數,提升製程穩定度與產品品質
產品分類:貼合設備 全自動晶圓鍵合機 GMS-8100 針對 GaAs/SiC/Si/Sapphire晶圓雙片貼合製程,研發製造出全自動貼合設備,為目前業界中,有Robot傳送系統,貼合速度最快,貼合品質穩定的晶圓貼合設備。 操作非常簡單,貼合後厚度均勻,精度高,速度快,耗材成本低,人事成本大幅下降。