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應用於晶片單面拋光設備，具備自動化盤面修整系統，可依製程需求，應對不同尺寸及材料加工
．盤面自動循溝系統，延長拋光盤壽命
．工作軸搭配獨立馬達，增加製程穩定性
．盤面溫度監控系統，提升產品品質
．自動化程式控制，功能擴充性靈活
| 碳化矽 | 氮化鎵 | 砷化鎵 | 矽 | 藍寶石 |
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| 且可適用於多種不同材料,….請與我們聯繫 | ||||
| 2″ | 4″ | 6″ |
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