製程設備

GLS-200G

降低成本的晶圓切割和減薄技術通過每個過程之間的全自動傳輸:雷射加工、晶圓分離、晶碇分離後的表面粗、細研磨,加工時間大大縮短,不再需要研磨(Lapping)工藝,產量大幅提升 50%。

GSPP-810P

晶圓單面CMP拋光設備,具備業界獨有的工作盤微調功能,以確保良好完工品質

GSP-810P

四軸單面拋光設備,適合多片式與大尺寸晶圓加工;獨立控制各軸加工參數,大幅提升加工效率與完工品質優良性

GSP-610PR

針對大尺寸藍寶石(Sapphire)晶片表面薄化加工,提供全自動雙軸拋光加工設備,以load on load的方式進行全自動的拋光製程,速度最快、產量最多,並且同時適用多種製程的拋光加工設備.操作簡單,全程由PLC製程 控制,精度高、速度快、耗材成本低,人事成本亦可大幅下降

GSP-610P

應用於晶片單面拋光設備,具備自動化盤面修整系統,可依製程需求,應對不同尺寸及材料加工

GDP-9H

採用特殊轉軸設計,效率高,產出快,適用於雙面研磨及雙面拋光產品,設備規格客製化;目前提供24″、28″、32″、36″等規格

GVG-350PCD

具備絕佳剛性與獨特結構,能進一步提高研磨穩定性與切削速率,特別是用於大尺寸晶圓薄化製程;搭配人性化操作介面,使操作更為便利

GHG-260PCD

專屬晶圓減薄加工研磨設備,具備高精密度與快速減薄能力.晶圓尺寸適用性廣泛,適用2吋及4吋製程,並可依照製程需求變化研磨參數,提升製程穩定度與產品品質

GMS-8100

針對 GaAs/SiC/Si/Sapphire晶圓雙片貼合製程,研發製造出全自動貼合設備,為目前業界中,有Robot傳送系統,貼合速度最快,貼合品質穩定的晶圓貼合設備。
操作非常簡單,貼合後厚度均勻,精度高,速度快,耗材成本低,人事成本大幅下降。