四軸精密拋光機

產品分類

說明

四軸單面拋光設備，適合多片式與大尺寸晶圓加工；獨立控制各軸加工參數，大幅提升加工效率與完工品質優良性

特點

．加工精度高（完工厚度＜±2μ）
．適用「銅盤」及「拋光墊」
．自動盤面修整系統
．溫控冷卻系統
．鑽石液噴灑系統
．氣壓缸可自動升降

應用範圍

應用尺寸

2″	4″	6″
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