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四轴单面抛光设备，适合多片式与大尺寸晶圆加工；独立控制各轴加工参数，大幅提升加工效率与完工质量优良性
．加工精度高（完工厚度＜±2μ）
．适用「铜盘」及「抛光垫」
．自动盘面修整系统
．温控冷却系统
．钻石液喷洒系统
．气压缸可自动升降
| 碳化硅 | 氮化镓 | 砷化镓 | 硅 | 蓝宝石 |
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| 且可适用于多种不同材料,....请与我们联系 | ||||
| 2″ | 4″ | 6″ |
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