CMP耗材

CMP60、CMP70、CMP80、CMP90、CMP130、CMP160 ...等

拥有奈米级研磨粒子与特殊基底配制而成,独特复合即微小颗粒,低磨粒(Colloidal Silica)含量悬浮度良好,纯度高,粒度细,无须特殊清洁制程

可针对多样化的抛光应用,并提供多样性的表面选择(如平面、格状...等)

针对多样化的抛光应用提供多样性的表面选择(如平面、格状等);背面使用压力感应背胶(PSA),可作用于70℃以下,PH适用1~13之间,在电子应用方面适用环形或单轴抛光,搭配CMP抛光液,可使加工件表面更能符合市场高标准需求