Menu
Menu
四軸單面拋光設備，適合多片式與大尺寸晶圓加工；獨立控制各軸加工參數，大幅提升加工效率與完工品質優良性
．加工精度高（完工厚度＜±2μ）
．適用「銅盤」及「拋光墊」
．自動盤面修整系統
．溫控冷卻系統
．鑽石液噴灑系統
．氣壓缸可自動升降
| 碳化矽 | 氮化鎵 | 砷化鎵 | 矽 | 藍寶石 |
| ｖ | ｖ | ｖ | ｖ | ｖ |
| 且可適用於多種不同材料,….請與我們聯繫 | ||||
| 2″ | 4″ | 6″ |
| v | v | v |