承載工件之載具,原材料為高純度之氧化鋁燒結成片狀 不易破裂、平整度/平面度極佳、表面粗糙度可依客戶要求而製作
採用精心挑選出的鑽石製成,用於修整拋光盤表面修平及車溝用
可應用於各式各樣的 鑽石線製造
廣泛應用於半導體材料、藍寶石、鑽石、陶瓷等工件表面處理
搭配 拋光盤使用
各類晶圓 硬拋光使用
採用獨特樹脂與金屬燒結,能夠有效提供各類晶圓硬拋光的能力