CMP耗材

CMP60~        CMP160等

擁有奈米級研磨粒子與特殊基底配製而成,獨特複合即微小顆粒,低磨粒(Colloidal Silica)含量懸浮度良好,純度高,粒度細,無須特殊清潔製程

可針對多樣化的拋光應用,並提供多樣性的表面選擇

針對多樣化的拋光應用提供多樣性的表面選擇(如平面、格狀等);背面使用壓力感應背膠(PSA),可作用於70℃以下,PH適用1~13之間,在電子應用方面適用環形或單軸拋光,搭配CMP拋光液,可使加工件表面更能符合市場高標準需求