製程耗材

30"、32"、36"、48",可客製化

採用獨特樹脂與金屬燒結,能夠有效提供各類晶圓硬拋光的能力

GDS            系列

利用修石與砂輪相互旋轉對磨,切削砂輪上鈍化表面,整平且銳利化砂輪

255系列、305系列      可客製化

特殊燒結方式而成的鑽石砂輪,在薄化藍寶石基板的過程中,展現出最佳的研磨效率;不須修整、不阻塞、壽命佳、高切削能力

ETL              系列

室溫狀態下呈現液態狀態,加熱冷卻後則會固化;適用於藍寶石基板加工製程,需搭配勻膠機(Spin Coater)使用

GTL-A系列

使用固態蠟將欲黏著之工件黏著載具上,以利進行後續研磨