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具備絕佳剛性與獨特結構，能進一步提高研磨穩定性與切削速率，特別是用於大尺寸晶圓薄化製程；搭配人性化操作介面，使操作更為便利
．可設定完工厚度
．加工過程資料統計（SPC）存檔
．自動量測完工厚度
．自動砂輪修整設計
．多重保護設計
．Window作業系統，資料相容性大
．操作簡單，維修容易
| 碳化矽 | 氮化鎵 | 砷化鎵 | 矽 | 藍寶石 |
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| 且可適用於多種不同材料,….請與我們聯繫 | ||||
| 2″ | 4″ | 6″ | 8″ |
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