产品分类:雷射设备 雷射加工晶锭分片机 GLS-200G 降低成本的晶圆切割和减薄技术通过每个过程之间的全自动传输:雷射加工、晶圆分离、晶碇分离后的表面粗、细研磨,加工时间大大缩短,不再需要研磨(Lapping)工艺,产量大幅提升 50%。
产品分类:抛光设备 抛光机 GSP-610PR 针对大尺寸蓝宝石(Sapphire)芯片表面薄化加工,提供全自动双轴抛光加工设备,以load on load的方式进行全自动的抛光制程,速度最快、产量最多,并且同时适用多种制程的抛光加工设备.操作简单,全程由PLC制程 控制,精度高、速度快、耗材成本低,人事成本亦可大幅下降
产品分类:研磨设备 水平式精密研磨机 GHG-260PCD 专属晶圆减薄加工研磨设备,具备高精密度与快速减薄能力.晶圆尺寸适用性广泛,适用2吋及4吋制程,并可依照制程需求变化研磨参数,提升制程稳定度与产品质量
产品分类:贴合设备 全自动晶圆键合机 GMS-8100 针对 GaAs/SiC/Si/Sapphire晶圆双片贴合制程,研发制造出全自动贴合设备,为目前业界中,有Robot传送系统,贴合速度最快,贴合质量稳定的晶圆贴合设备。 操作非常简单,贴合后厚度均匀,精度高,速度快,耗材成本低,人事成本大幅下降。