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液態蠟
ETL系列
室溫狀態下呈現液態狀態,加熱冷卻後則會固化;適用於藍寶石基板加工製程,需搭配勻膠機(Spin Coater)使用
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固態蠟
GTL-A系列
使用固態蠟將欲黏著之工件黏著載具上,以利進行後續研磨