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．採用非接觸式量測技術，不破壞物體表面
．搭配高精度運動控制平台，客戶可任意採用點/線/面量測法進行產品3D數據分析
．量測點距(Resolution)及數量可程式控制，而不受3D 面掃之硬體限制
．適用產品性廣，除吸光材質以外，所有產品皆適用
．4/6/8吋晶圓解決方案
．高穩定高精度的3D形貌量測技術
．TTV/LTV/BOW/Warp/Thickness多功能演算法
．操作便利的多樣工程分析可視化形貌圖（高度圖、虛擬平面高度圖、輪廓圖、3D 形貌圖）
．塊規自動校正系統
．客製化報表輸出
．自動分規系統
．不間斷上下料生產
| 碳化矽 | 氮化鎵 | 砷化鎵 | 矽 | 藍寶石 |
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| 且可適用於多種不同材料,….請與我們聯繫 | ||||
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