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应用于芯片单面抛光设备，具备自动化盘面修整系统，可依制程需求，应对不同尺寸及材料加工
．盘面自动循沟系统，延长抛光盘寿命
．工作轴搭配独立马达，增加製程稳定性
．盘面温度监控系统，提升产品品质
．自动化程式控制，功能扩充性灵活
| 碳化硅 | 氮化镓 | 砷化镓 | 硅 | 蓝宝石 |
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| 且可适用于多种不同材料,....请与我们联系 | ||||
| 2″ | 4″ | 6″ |
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