直立式精密研磨機

产品分类

说明

具备绝佳刚性与独特结构，能进一步提高研磨稳定性与切削速率，特别是用于大尺寸晶圆薄化制程；搭配人性化操作接口，使操作更为便利

特点

．可设定完工厚度
．加工过程资料统计（SPC）存盘
．自动量测完工厚度
．自动砂轮修整设计
．多重保护设计
．Window操作系统，数据兼容性大
．操作简单，维修容易

应用范围

适用尺寸

2″	4″	6″	8″
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