產品分類:Mavlipa 奈米粒子分析儀 (Nanoparticle Analyzer) G3 Mavlipa G3 是專為解決半導體化學機械平坦化 (CMP) 研磨液計量挑戰而設計的「第三代」解決方案。它是目前市場上唯一能夠在無需稀釋且即時的狀態下,精準測量各類研磨液(包含高濃度不透明溶液,如氧化鈰或矽研磨液)之粒徑分佈 (PSD) 與大顆粒計數 (LPC) 的儀器。其緊湊的設計與專利光學技術,使其成為維持半導體良率的關鍵監控設備