HESYS

產品分類

本產品專為減少半導體製造過程中產生的副產物(by-products)而設計 。其核心採用創新的平面加熱技術,利用碳奈米管(CNT)與石墨烯奈米片(GNP)構成的導電網路產生熱能 。透過僅 100μm的超薄奈米碳膜,能提供比傳統金屬絲加熱夾克更迅速、更精確的溫度控制,有效防止廢氣在法蘭(Flange)或彎管處凝結