半導體設備陶瓷電漿溶射粉末 氧化釔粉

說明

電漿溶射氧化釔粉末
.Y₂O₃ / Y₂O₃ – ZrO₂
優異的高溫安全性和等離子體腐蝕性能。
CVD用於半導體、液晶顯示器設備製程部件、通過溶射塗覆表層來延長使用工作壽命。
.YAG
它是無定形的,優於結晶材料,具有優越機械和化學性能。
適用於半導體、液晶顯示設備製程部件和絕緣溶射層。
.Al₂O₃ (壓碎 / 碎裂)
機械強度、耐熱性、耐磨性、耐腐蝕性
優異的絕緣性能於電氣、電子、光學、機械、化學等各個領域。
廣泛用於半導體及液晶顯示器製程陶瓷材料。

特點
應用範圍

 

應用尺寸