德國製 SiC碳化矽晶錠全自動滾圓平邊研磨系統 SiC OD 晶錠研磨系統Q2

說明

Logomatic Gmb H 設計與製造硬脆材料晶錠滾圓研磨系統

特點

.專為碳化矽晶錠設計

.穩固機床設計,加工過程不震動

.製程設計磨平/滾圓/磨平邊/Notch等可設定

.加工穩定與高精度控制

.8吋可兼容

.設備採用防腐蝕度膜設計

.加工過程多點位壓力監控

.加工區域完全保護

.友善控制介面易於操作

.預檢模式採雙數位技術

應用範圍

Silicon, Sapphire and Silicon Carbide (SiC).

應用尺寸