Logomatic Gmb H 設計與製造硬脆材料晶錠滾圓研磨系統
.專為碳化矽晶錠設計
.穩固機床設計,加工過程不震動
.製程設計磨平/滾圓/磨平邊/Notch等可設定
.加工穩定與高精度控制
.8吋可兼容
.設備採用防腐蝕度膜設計
.加工過程多點位壓力監控
.加工區域完全保護
.友善控制介面易於操作
.預檢模式採雙數位技術
Silicon, Sapphire and Silicon Carbide (SiC).
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