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液态蜡
ETL系列
室温状态下呈现液态状态,加热冷却后则会固化;适用于蓝宝石基板加工制程,需搭配匀胶机(Spin Coater)使用
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固态蜡
GTL-A系列
使用固态蜡将欲黏着之工件黏着载具上,以利进行后续研磨