制程耗材

30"、32"、36"、48"、50",可客制化

采用独特树脂与金属烧结,能够有效提供各类晶圆硬抛光的能力

GDS            系列

利用修石与砂轮相互旋转对磨,切削砂轮上钝化表面,整平且锐利化砂轮

255系列、305系列      可客製化

特殊烧结方式而成的钻石砂轮,在薄化蓝宝石基板的过程中,展现出最佳的研磨效率;不须修整、不阻塞、寿命佳、高切削能力

ETL              系列

室温状态下呈现液态状态,加热冷却后则会固化;适用于蓝宝石基板加工制程,需搭配匀胶机(Spin Coater)使用

GTL-A系列

使用固态蜡将欲黏着之工件黏着载具上,以利进行后续研磨