承载工件之载具,原材料为高纯度之氧化铝烧结成片状 不易破裂、平整度/平面度极佳、表面粗糙度可依客户要求而制作
采用精心挑选出的钻石制成,用于修整抛光盘表面修平及车沟用
可應用於各式各樣的 鑽石線製造
广泛应用于半导体材料、蓝宝石、钻石、陶瓷等工件表面处理
搭配 拋光盤使用
各類晶圓 硬拋光使用
采用独特树脂与金属烧结,能够有效提供各类晶圆硬抛光的能力