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．采用非接触式量测技术，不破坏物体表面
．搭配高精度运动控制平台，客户可任意采用点/线/面量测法进行产品3D数据分析
．量测点距(Resolution)及数量可程控，而不受3D 面扫之硬件限制
．适用产品性广，除吸光材质以外，所有产品皆适用
．4/6/8吋晶圆解决方案
．高稳定高精度的3D形貌量测技术
．TTV/LTV/BOW/Warp/Thickness多功能算法
．操作便利的多样工程分析可视化形貌图（高度图、虚拟平面高度图、轮廓图、3D 形貌图）
．块规自动更正系统
．客制化报表输出
．自动分规系统
．不间断上下料生产
| 碳化硅 | 氮化镓 | 砷化镓 | 硅 | 蓝宝石 |
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| 且可适用于多种不同材料,....请与我们联系 | ||||
| 4″ | 6″ | 8″ |
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