产品分类:HESYS 奈米碳基加热夹头 (Nano Carbon based Heating Clamp) 本产品专为减少半导体制造过程中产生的副产物(by-products)而设计 。其核心采用创新的平面加热技术,利用碳奈米管(CNT)与石墨烯奈米片(GNP)构成的导电网路产生热能 。透过仅 100μm的超薄奈米碳膜,能提供比传统金属丝加热夹克更迅速、更精确的温度控制,有效防止废气在法兰(Flange)或弯管处凝结 。