德國製 SiC碳化矽晶錠全自動滾圓平邊研磨系統 SiC OD 晶錠研磨系統Q2

说明

logomatic Gmb H 设计与制造硬脆材料晶锭滚圆研磨系统

特点

.专为碳化硅晶锭设计

.稳固机床设计,加工过程不震动

.制程设计磨平/滚圆/磨平边/Notch等可设定

.加工稳定与高精度控制

.8吋可兼容

.设备采用防腐蚀度膜设计

.加工过程多点位压力监控

.加工区域完全保护

.友善控制接口易于操作

.预检模式采双数字技术

应用范围

Silicon, Sapphire and Silicon Carbide (SiC).

适用尺寸