logomatic Gmb H 设计与制造硬脆材料晶锭滚圆研磨系统
.专为碳化硅晶锭设计
.稳固机床设计,加工过程不震动
.制程设计磨平/滚圆/磨平边/Notch等可设定
.加工稳定与高精度控制
.8吋可兼容
.设备采用防腐蚀度膜设计
.加工过程多点位压力监控
.加工区域完全保护
.友善控制接口易于操作
.预检模式采双数字技术
Silicon, Sapphire and Silicon Carbide (SiC).
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